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干式真空泵的應(yīng)用非常廣泛，主要有以下幾個(gè)方面，下面小編帶你了解一下干式真空泵的應(yīng)用范圍和場(chǎng)景：
1）多晶硅制備過(guò)程中的低壓化學(xué)氣相沉積;
2）半導(dǎo)體蝕刻工藝。 在這些制造過(guò)程中經(jīng)常使用或產(chǎn)生腐蝕性氣體和磨粒;
3）除半導(dǎo)體工藝外，部分工藝過(guò)程產(chǎn)生的顆粒，不希望顆粒與泵油混合，希望顆粒從泵內(nèi)排出，用一定類型的干式機(jī)械真空泵達(dá)到要求;
4）在化學(xué)工業(yè)，醫(yī)藥工業(yè)，食品工業(yè)的蒸餾，干燥，消泡，包裝，防止有機(jī)溶劑引起的污染，適合與干式真空泵配套使用;
5）用作普通無(wú)油清洗真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，防止油污染。